主な技術データ
- ガラスウエハの厚さ：0.3〜3 mm
- ブリッジツール：150/200 mmウェハ、または200/300 mmウェハ
- EFEM：2つの標準FOUP
- フラット/ノッチウェハ対応
- SECS/GEM対応
- SEMI E84
- 装置寸法（WxHxD）：1800 x 2200 x 3000 mm
LIDE専門チーム
LPKFのLIDEの専門家とサポートチームは、お客様に新しいソリューションをご提案し、開発を促進することで製品の市場投入までの時間を短縮することができます。
ブランド名”Vitrion”のもと、LPKFのLIDEテクノロジーのあらゆる面ですべてのサービスプロバイダーを利用できます。専門チームは市場のダイナミクスに目を向けており、LIDEベースのイノベーションのあらゆる段階でお客様をサポートします。LIDEテクノロジーとアプリケーション例の詳細については、 www.vitrion.comをご参照ください。
いつでもお気軽に LPKF日本支社へお問い合わせください。ご質問をお待ちしております。
