Technologie zur Mikrobearbeitung von Glas ausgezeichnet

Die LPKF Laser & Electronics AG erhält den Productronica Innovation Award 2017 in der Kategorie Semiconductor für die LIDE-Technologie

Hohe Wirtschaftlichkeit: Tiefe Mikrostrukturen mit nur einzelnen Laserpulsen möglich

Das Laser Induced Deep Etching ist ein zweistufiges Verfahren. Im ersten Schritt wird das Glas mittels der Lasermaschine Vitrion 5000 lokal nach dem gewünschten Layout lasermodifiziert. Anschließend werden die modifizierten Gläser nasschemisch geätzt. Die modifizierten Bereiche des Glases werden wesentlich schneller entfernt als das unmodifizierte Material, so dass die gewünschten Mikrostrukturen entstehen.

Mit der LIDE-Technologie ist es erstmals möglich, durchgehende Glasmodifikationen mit nur einzelnen Laserpulsen zu erreichen. Dies ist notwendig, um tiefe Strukturen wie z.B. Durchgangsbohrungen oder Mikroschnitte zu erhalten. Mit der hochpräzisen und maskenfrei arbeitenden Lasermaschine lassen sich somit beispielsweise mehr als 5000 Mikrolöcher pro Sekunde präparieren. Typische Aspektverhältnisse liegen im Bereich >1:10. Kleinste Strukturgrößen > 10 μm sind realisierbar.

Breite Anwendungsmöglichkeiten
Da das LIDE Verfahren in Qualität und Produktivität neue Maßstäbe setzt, kann es sogar zu einer neuen Basistechnologie für eine Vielzahl von Anwendungsgebieten der Mikrosystemtechnik werden. Damit könnte es ganze Prozessketten in der Produktion transformieren. Dünnglas ist beispielsweise ein hervorragendes Ausgangsmaterial für hochdichte Schaltungsträger in der Mikroelektronik. In diesem Fall kann das LIDE Verfahren die Mikrolöcher für die Durchkontaktierung in das Glassubstrat einbringen.

Gleichzeitig lassen sich mit dem Verfahren auch mikromechanische Bauteile herstellen. Glas hat ganz hervorragende mechanische Eigenschaften, wenn es stress- und mikrorissfrei bearbeitet ist. Und dies schafft das LIDE-Verfahren. Auch für die Mikrofluidik bietet LIDE-behandeltes Glas neue Optionen: Zukünftig könnten auch Filter oder Strömungsgleichrichter aus Glas Realität werden.